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超精密加工中的誤差分離

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超精密加工中的誤差分離

發布日期:2016-07-09 22:11 來源:http://www.luckyhouse2006.com.cn 點擊:

     在超精密加工零件中,工件輪廓直線度誤差與溜板的直線運動誤差處于同一數量級(通常為亞微米量級)。電容、電感傳感器有很高的分辨率和測量精度,很適合于高精度測量。但這類傳感器測量的量程有限,所以用掃描法將位移測頭安裝在溜板上,沿工件的被測輪廓作直線運動,或者將傳感器固定,工件隨溜板一起運動,要想得到精確的工件輪廓直線度或溜板直線運動誤差,便需要采用誤差分離的辦法。

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